EB电源

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产品名称: EB电源

产品型号: HPS-1000N-200

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

产品文档: 无相关文档

EB电源 的详细介绍

ULVAC EB电源 HPS-1000N-200

特点
不需要冷却水
强制空冷系统，不需要冷却水
可靠性高
作为设备制造商经验积累的成果
简易的操作性
操作面板使用液晶触摸屏，操作性得到提升。
扫描波形变化
可以在操作屏幕上创建各种光束扫描形式
高速电弧中断功能
通过高速电弧中断*大限度地减少成膜率
低水平电弧控制功能（光学应用可选）
控制光学应用中所产生的微小电弧以实现稳定的成膜
用途
金属膜用真空沉积

规格

型号		HPS-1000N-100	HPS-1000N-200
输入规格	输入电压	三相,　AC190～231V
	Input capacity	14kVA	15kVA
Output specification	Rated output power	10kW
	Voltage	-4k～-10kV
	Ripple rate	2％p-p or less (at rated power)
	Beam current	0～1000mA
Cooling method		Forced air-cooling
Dimensions W×D×H		494×701×712mm
Weight		120kg	145kg
Applicable Standard		CE

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