DC电源

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产品名称: DC电源

产品型号: DC-10-DH

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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DC电源 的详细介绍

ULVAC DC电源 DC-10-DH

特点
丰富的高性能选项
轻巧且节省空间的设计
800V和1000V的电压输出范围
适应于等离子体的输出控制
强制空气冷却系统，无需冷却水
配备出色的ARC功能和高速ARC断路器
可*多12台设备并联运行（240kW）
符合RoHS、CE、SEMI-F47标准
用途
FPD溅射设备
半导体溅射设备
电子元器件溅射设备
工业涂层溅射设备
规格

型式		DC-10-D	DC-10-DH	DC-20-D	DC-20-DH
输入规格	入力電圧	AC208V
	変動範囲	AC187V~229V
	相数、周波数	3相 50/60Hz
	输入连接	连接器
	入力容量	13.5kVA以下		25kVA以下
出力仕様	*大定格電力	10kW		20kW
	定格電流	25A	18A	50A	40A
	定格電圧	800V	1000V	800V	1000V
	ARC制御	检测到 ARC 时，低 ARC 电路运行，逆变器停止。
	出力接続部	连接器
制御	制御方式	恒功率控制 (P 控制) / 恒电流控制 (I 控制) / 恒电压控制 (V 控制)
	電力制御精度 *1	额定功率的 1-10% ：设定值的 ±5% 或以下额定功率的 10% 或以上：额定值的 ±0.5% 或以下，或设定值的 ±1% 或以下，以较大者为准。
	電力制御保証範囲 *2	定格電力の10-100%(オプション：1-100%)
	並列運転 *3	*大12台
	外部制御	模拟/数字、RS-232C、RS-485/EtherCAT *4
冷却方式		強制空冷
外形寸法		483mm（W）×630mm（D）×133mm（H）以内※突起物を含まず
質量		29kg		36kg
適合規格		RoHS、CE（EN61000-6-2、EN61000-6-4、EN61010-1）、SEMI F47

工作环境温度 5°C 至 40°C（无冷凝）。
操作环境避免阳光直射、高温、灰尘和振动无腐蚀性气体。
*1：可选精度保证范围为额定值的 1-10%。
*2：可提供输出电压和输出电流的下限。可选配 1%范围内的精度保证。
*3：800 V 和 1000 V 规格不能合并。

*4：EtherCAT 规格为可选项。详情请联系我们。

可选功能

有四种升级包（或单元）可满足客户需求，具有其他直流电源不具备的独特高性能功能。这些新功能可帮助客户解决以前无法解决的工艺问题，提高薄膜性能。

1. 高性能 RAMP

放电前控制输出（点火操作）的功能，从而抑制放电开始时输出的突然变化，并使放电后立即获得稳定状态。传统上，直流电源中的 RAMP 功能一般是在放电后控制输出。因此，我们将重点放在放电前的输出控制上。通常，输出控制是在放电后进行的，因此可能无法获得稳定的放电状态。有了这项新功能，在放电前控制输出（点火操作），就可以抑制放电开始时的瞬时高功率，稳定放电。

2. 控制精度高
该功能可实现与设置相关的高精度输出和**的连续重复性。
标准机器的设定输出保证值范围在 10%至 100%之间，低于 10%的值为非保证值，而添加本软件包后，保证值可从 1%起得到保证。即使在重复开关数千次或数万次的过程中，输出变化也很小，并且具有很高的可重复性。

出力再現性（σ：0.74W）

3.高速 ARC 处理
全新的 ARC 控制功能，其 ARC 截止时间为 5 µs，处于****水平。
直流电源在检测到异常放电时会瞬间切断输出，但如果切断时间过长，则可能无法恢复放电。
该封装功能*大限度地缩短了截止时间，有利于维持放电和稳定过程。较短的截止时间还可缩短清洗沉积材料的预溅射时间。

4. 4.性能优越的 ARC 处理
直流电源本身可判断异常放电程度，并在检测到异常放电后执行输出关断时间的佳关断的功能。
一般的直流电源只能设置一种关断模式。然而，这种关断方式往往不适合当时的情况，导致后续沉积过程的效率降低，或因不久后再次发生异常放电而反复关断。这项新功能允许直流电源自行决定异常放电时的佳关机方式，从而降低了异常放电再次发生的概率，并提高了沉积过程的效率。
这些功能的封装方式使它们可以根据需要单独或作为一组添加到单个直流电源中。这些功能也可随后添加到已在使用的电源中。

ARC遮断時間の自動判断

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