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EB电源

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产品名称: EB电源
产品型号: HPS-510S
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

EB电源  的详细介绍

ULVAC EB电源 HPS-510S

特点
不需要冷却水
强制空冷系统，不需要冷却水
可靠性高
作为设备制造商经验积累的成果
简易的操作性
操作面板使用液晶触摸屏，操作性得到提升。
扫描波形变化
可以在操作屏幕上创建各种光束扫描形式
高速电弧中断功能
通过高速电弧中断*大限度地减少成膜率
低水平电弧控制功能（光学应用可选）
控制光学应用中所产生的微小电弧以实现稳定的成膜
用途
金属膜用真空沉积
规格

型式 HPS-510S HPS-1600F
-S100 		HPS-1600F
-S200 		HPS-1600F
-S101
输入规格 输入电压 三相,　AC190～231V
输入容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA
输出规格 额定输出功率 5kW 16kW
电压 -4k～-10kV
波纹率 2％p-p or less (at rated power)
光束电流 0～500mA 0～1600mA
冷却方式 强制风冷
尺寸
W×D×H 		电源 480×620×300mm 500×700×710mm
喷枪控制器 480×480×149mm
重量 电源 50kg 113kg 136kg 113kg
喷枪控制器 20kg 17kg


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