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金属膜用EB枪

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产品名称: 金属膜用EB枪
产品型号: EGK-3M
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

金属膜用EB枪  的详细介绍

ULVAC 金属膜用EB枪 EGK-3M

特点
采用容量2.9cc的4点切换坩埚可实现多层成膜。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。
电子束225°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格

加速电压 -4kV～-10kV
束电流 0.5A MAX
*大输入功率 5kW（-10kV／0.5A）
X轴偏转线圈 -0.4A～-3.5A／-18V DC MAX
约2.2Ω（20℃）
灯丝 0～12V AC
0～40A max
坩埚 数 4
容量 2.9cc
尺寸 21Φ×17.5Φ×10H
电子束偏向角度 225°
有效蒸发角度 90°以上
蒸发速度 0.6μm/min以上
铝5kW，炉膛上方250H
冷却水量 坩埚 8L/min以上 0.7MPa（*大圧力）
线圈 1L/min以上 0.7MPa（*大圧力）
水温 15～25℃
外形尺寸 140W×126H×207D
重量 约5kg
适用电源 HPS-510S・HPS-1000N
备注 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。
Y轴偏转线圈（可选） 0～±1.2A／±12VDVmax
约1.7Ω（20℃）
备注 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。
可以连接送丝机


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