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金属膜用EB枪

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产品名称: 金属膜用EB枪
产品型号: EGL-80M
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
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金属膜用EB枪  的详细介绍

ULVAC 金属膜用EB枪 EGL-80M

特点
采用大容量110cc的4点切换坩埚可实现多层成膜。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。
电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
坩埚位置检测机构可以作为选项安装，坩埚旋转可以自动化。
规格

加速电压 -4kV～-10kV DC
发射电流（MAX） 1.6A（加速电压-10kV時）
*大输入功率 16kW（-10kV、1.0A）
X轴偏转线圈 2.5～16A MAX-12V DC
0.54Ω（室温20℃内）
Y轴偏转线圈 0～±2A MAX±12V DC
1.2Ω×2（室温20℃内
灯丝 0～6V AC MAX 50A
坩埚 容量（数） 110cc (4个)
尺寸 75Φ×57Φ×32H
电子束偏向角度 270°
有效蒸发角度 100°以上
蒸发速度 4μm/min以上
（A| 16kW,坩埚真上250H）
冷却水量 坩埚：20L/min以上
（MAX 7kg/cm2）
线圈：4L/min以上
（MAX 7kg/cm2）
水温 15～25℃
炉膛位置检测机构
（可选） 		接点数：NO接点　4式
容量：50mA～1A MAX 50V AC
外形尺寸 318L×265W×168H
重量 30kg
适用电源 HPS-1600F（高功率规格）


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