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金属膜用EB枪

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产品名称: 金属膜用EB枪
产品型号: EGL-110
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

金属膜用EB枪  的详细介绍

ULVAC 金属膜用EB枪 EGL-110

特点
采用大容量110cc坩埚，可实现大量成膜。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。
电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格

加速电压 -4kV～-10kV
束电流 1.6Amax (at-10kV)
*大入力 16kW (-10kV, 1.6A)
X轴偏转线圈 0.4～3.5A -18VDCmax
2.8Ω（20℃）
Y轴偏转线圈 0～±1.2A ±12VDCmax
0.9Ω（20℃）2個
灯丝 0～6VAC 40Amax
坩埚 容量 110cc
尺寸 75Φ×59Φ×32H
电子束偏转角度 270°
有效蒸发角度 120°以上
蒸发速度 铝16kW时 4.5μm/min以上（炉膛上250H）
冷却水量 19L/min以上、0.7MPa（*大圧力）
水温 15℃～25℃
外形尺寸 136W×90H×220D
重量 约15kg
适用电源 HPS-1000N, HPS-1600F
備考 1. 可以连接送丝机。
2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水


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