首页 >>> 产品目录 >>> FA自动化控制·机械部品 >>> 电源

金属膜用EB枪

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 金属膜用EB枪
产品型号: EGL-35
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

金属膜用EB枪  的详细介绍

ULVAC 金属膜用EB枪 EGL-35

特点
采用40cc大容量锅炉，可实现大体积成膜。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本**831485号.843447号）
电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格

加速电压 -4kV～-10kV DC
电子束电流 MAX 1.0A（加速电压-10kV时）
*大输入功率 10kW（-10kV, 1.0A）
X轴偏转线圈 0.4～3.5A MAX-18V DC
2.8Ω（室温20℃内）
Y軸偏转线圈 0～±2A MAX±12VDCmax
6Ω×2（室温20℃内）
灯丝 0～6V AC MAX40A
坩埚 容量 40cc
尺寸 50Φ×41Φ×25H
电子束偏向角度 270°
有蒸发角度 120°以上
蒸发速度 1.8μm/min以上（A110kW、炉膛上250H）
冷却水量 10L/min以上（*大输出0.7MPa）
水温 15～25℃
外形尺寸 110H×79W×206D
重量 10kg
适用电源 HPS-1000N, HPS-1600F
参考 1. 可以连接送丝机
2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。


产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!