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金属膜用EB枪

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产品名称: 金属膜用EB枪
产品型号: EGL-103S
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

金属膜用EB枪  的详细介绍

ULVAC 金属膜用EB枪 EGL-103S

特点
采用直接作用型的10cc三点切换坩埚，适用于超高真空的小规模生产。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本**831485号.843447号）
电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格

加速电压 -4kV～-10kV
电子束电流 0.6Amax (at-10kV)
*大输入功率 6kW (-10kV, 0.6A)
X轴偏转线圈 0.4～3.5A -18VDCmax
2.8Ω（20℃）
Y轴偏转线圈 0～±1.2A ±12VDCmax
0.9Ω（20℃）
灯丝 0～6VAC 50Amax
坩埚 容量 10cc
尺寸 35Φ×31Φ×11H
电子束偏向角度 270°
有效蒸发角度 90°以上
冷却水量 坩埚 10L/min 7kg/cm2G（*大圧力）
坩埚盖板 2L/min 7kg/cm2G（*大圧力）
水温 15℃～25℃
外形尺寸 313W (MAX)×108H×250D
重量 约16kg
适用电源 HPS-1000N, HPS-1600F
备注 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。
*大30 x 30 mm
烘烤温度*高为120℃，但要保持冷却水流经炉膛和炉膛甲板


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