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金属膜用EB枪

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产品名称: 金属膜用EB枪
产品型号: EGN-406M
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

金属膜用EB枪  的详细介绍

ULVAC 金属膜用EB枪 EGN-406M

特点
采用了平顶结构，减少了电子束蒸发源上的成膜区域，使清洁变得容易
采用新的发射结构可将部件数量减少到传统产品的60％，从而简化了装配
适用于金属成膜，氧化物/化合物点光束。
作为设备制造商经验积累的成果
用途
电子束蒸发的蒸发源
规格

型号 EGN-206M EGN-406M
偏转角 270° 270°
坩埚数量  6 6
坩埚容量 20cc 40cc
冷却水流量 10L/min 10L/min
尺寸　W×D×H 267mm×343mm×150mm 267mm×343mm×150mm
重量 28kg 28kg
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