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RF电源选配件

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产品名称: RF电源选配件
产品型号: EXO-13
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

RF电源选配件  的详细介绍

ULVAC RF电源选配件 EXO-13

特点
可以同步多达4台RF电源的相位。
通过相簇消除功能实现低成本。
规格

型号 EXO-13
输入规格 输入电压 单相　AC90～110V
输入容量 10VA以下
输出规格 振荡频率 13.56MHz±0.05%
外形尺寸　W×D×H 145×110×44mm （不包含凸起部分）


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