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RF电源选配件

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产品名称: RF电源选配件
产品型号: PHS-08N
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

RF电源选配件  的详细介绍

ULVAC RF电源选配件 PHS-08N

特点
可以控制多个RF电源的相位。
相位移功能可调节阴极之间的差异，以提供具有较少变化的稳定工艺。
规格

型号 PHS-04N PHS-08N
输入规格 输出电压 单相　AC90～240V
输入容量 70VA
输出规格 输出通道数 4 8
振荡频率 13.56MHz±0.05%
相位设定范围 0～360°
外形尺寸　W×D×H 480×192×49mm （不包含凸起部分）
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