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RF电源选配件

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产品名称: RF电源选配件
产品型号: EXN3M-70W
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

RF电源选配件  的详细介绍

ULVAC RF电源选配件 EXN3M-70W

特点
可以切换匹配器的输出。
不需要为每个阴极单独安装匹配器，大幅降低了设备成本。
有两种类型的切换方式：手动和电机驱动。 此外，我们还准备了对应更高功率的水冷系统。
还可以作为DC电源，DC电源输出切换器使用。
只有一个匹配器，不能超出匹配范围的负荷下使用。
规格

规格 水冷目标更换器　规格
EXN2T-70W EXN3T-70W EXN4T-70W EXN2M-70W EXN3M-70W EXN4M-70W
切换接点数 2个 3个 4个 2个 3个 4个
热开关 不可
使用频率 DC-13.56MHz
额定传导电流 70A
耐电压 接点间　AC 10kV 1分（50/60Hz）
接点-GND间　AC 10kV 1分（50/60Hz）
切换方式 手动式 电动式
电机额定功率 DC24V
电机额定电流 0.22A (0.75Amax)
接点位置输出 微动开关（接点容量 0.25A 24VDC）
冷却方式 水冷
冷却流量 5L/min
耐圧 0.5MPa
适配 3/8inch N2管接头
高频连接用端子 O4mm螺栓
安装现场温度 5℃～35℃
安装现场湿度 30%～80% (不结露)
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