ULVAC RF电源选配件 EXN2T-40A
特点 可以切换匹配器的输出。 不需要为每个阴极单独安装匹配器，大幅降低了设备成本。 有两种类型的切换方式：手动和电机驱动。 此外，我们还准备了对应更高功率的水冷系统。 还可以作为DC电源，DC电源输出切换器使用。 只有一个匹配器，不能超出匹配范围的负荷下使用。 规格 规格 水冷目标更换器 规格 EXN2T-70W EXN3T-70W EXN4T-70W EXN2M-70W EXN3M-70W EXN4M-70W 切换接点数 2个 3个 4个 2个 3个 4个 热开关 不可 使用频率 DC-13.56MHz 额定传导电流 70A 耐电压 接点间 AC 10kV 1分（50/60Hz） 接点-GND间 AC 10kV 1分（50/60Hz） 切换方式 手动式 电动式 电机额定功率 DC24V 电机额定电流 0.22A (0.75Amax) 接点位置输出 微动开关（接点容量 0.25A 24VDC） 冷却方式 水冷 冷却流量 5L/min 耐圧 0.5MPa 适配 3/8inch N2管接头 高频连接用端子 O4mm螺栓 安装现场温度 5℃～35℃ 安装现场湿度 30%～80% (不结露)
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