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RF电源选配件

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: RF电源选配件
产品型号: MEX6N-1k
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

RF电源选配件  的详细介绍

ULVAC RF电源选配件 MEX6N-1k

特点
可以切换多个匹配器。
可以在不同时放电时使用，设备中安装的电源的数量减少，有助于降低设备的成本。
每个阴极都有一个匹配器，因此可以选择具有不同阻抗的阴极。
规格

容量帯 匹配器切换台数
２台 ３台 ４台 ５台 ６台 ７台 ８台
500, 1kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k
3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k
5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k - - - -
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