RF电源

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产品名称: RF电源

产品型号: RFS-1350N

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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RF电源 的详细介绍

ULVAC RF电源 RFS-1350N

特点
高效率
配有高功率转换效率的RF电路以节省能量。
快速自动匹配
快速算法实现快速自动匹配。
RF电源内置自动匹配功能
只有主机才能进行匹配系统控制。
可通过内置控制器手动控制RF电源和匹配器
灵活的控制
外部模拟控制，可实现串联通信控制。
可靠性高
对作为设备制造商所积累的设计经验。
用途
溅射设备
CVD设备
等离子蚀刻设备
RF离子源
中和剂
规格

[电源箱］

形式		RFS-1305N	RFS-1310N	RFS-1330N	RFS-1350N
入力仕様	入力定格電圧	AC200 to 220V
	入力電圧変動範囲	AC180～242V
	相数・周波数	単相　50/60Hz		三相 50/60Hz
	入力接続部	DCA3102E16-10P-D (卡口锁定圆形插座）		DCA3102E22-22P-D (卡口锁定圆形插座）
	入力容量	1.2 kVA以下	1.8 kVA以下	5 kVA以下	8 kVA以下
	入力電流	10A以下		25A以下	30A以下
	漏洩電流	5mA以下
出力仕様	発振周波数	13.56MHz
	定格進行波電力	500W（50Ω 負荷時）	1000W（50Ω 負荷時）	3000W（50Ω 負荷時）	5000W（50Ω 負荷時）
	*大反射波電力	100W		500W
	输出阻抗	50Ω
	高調波歪率	-35dB 以下（额定输出下的连续模式）
	出力接続部	N型		HN型	DIN 7/16
制御	制御方式	定電力制御
	制御精度	小于额定输出的 ±2%（10 至 100% 额定功率值）
冷却方式		空冷		水冷
		冷却水不要		流量 4L/min	流量 6L/min
制御補償範囲		额定功率值的 10% 至 100%
外形寸法 W x D x H		240mm x 495mm x 150mm (不包括突出部件）		480mm × 500mm × 150mm (不包括突出部件）
質量		約11kg		約23kg

[配套箱]

形式		MBX-1305N	MBX-1310N	MBX-1330N	MBX-1350N
RF入力	入力周波数	13.56MHz
	定格電力	30～500W	30～1000W	30～3000W	50～5000W
	入力接続部	N型		HN型	DIN 7/16型
RF出力	許容出力電圧	2.5kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下		5.0kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下	10kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下
	許容出力電流	30A 以下		80A 以下	120A 以下
	负载阻抗	实部：0.5 Ω ≤ R ≤ 10.0 Ω (但在规定的电压和电流范围内时）
残留反射波電力		输入行波功率的 0.3% 或以下，或 10 W 或以下，以较大者为准		输入行波功率的 0.3% 或以下，或 10 W 或以下，以较大者为准	输入行波功率的 0.3% 或以下，或 10 W 或以下，以较大者为准
冷却方式		空冷		空冷＋水冷(流量 2L/min)
外形寸法 W x D x H		375mm x 250mm x 120mm（突起部含まず）		375mm x 250mm x 170mm （突起部含まず）	450mm x 500mm x 248mm （突起部含まず）
質量		約8kg		約10kg	約21kg

* 工作环境温度 10-40°C（无冷凝）
* 工作环境避免阳光直射、高温、灰尘、振动，无腐蚀性气体

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