ULVAC DC電源 DC-2
特点 高控制精度 即使在10%或更低的低功率区域内,也可以实现设定值±1%的高精度输出 宽精度保证 1~100%的宽功率精度保证 重量轻・节省空间 轻巧,节省空间的设计,安装更方便 不需要冷却水 强制空冷系统,不需要冷却水。 高可靠性 作为设备制造商的经验累积成果。 用途 R&用于溅射设备 ・各种成膜设备的偏压电源 规格
工作环境温度 5°C 至 40°C(无冷凝) 工作环境 避免阳光直射、高温、灰尘、振动和腐蚀性气体。
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