DC电源

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产品名称: DC电源

产品型号: DC-30-44H-E

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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DC电源 的详细介绍

ULVAC DC电源 DC-30-44H-E

特点
通过高速电弧中断回路实现超低电弧能量。有助于提高生产力和产量。
1200 V输出，可对应高阻抗负载。
支持EtherCAT，有助于减少设备的布线。
用途
FPD用溅射设备
半导体用溅射设备
触摸屏用溅射设备用
工业涂层用溅射设备
规格

型式		DC-30-44H-E
入力仕様	入力電圧	3相　AC396V～484V
入力仕様	入力容量	41.5kVA以下
出力仕様	*大定格電力	30kW
	定格電流	55A
	定格電圧	-1200V
	点火电压	-1500V
	異常放電制御	異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断
制御	制御方式	定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御）
	制御精度	恒功率控制（P 控制）：额定输出的 ±0.5% 或以下，或设定值的 ±1%，以较高者为准。恒定电流控制（I 控制）：额定输出的 ±1% 或以下，或设定值的 ±2%，以较大者为准。恒压控制（V 控制）：额定输出的 ±1% 或以下，或设定值的 ±2%，以较大者为准。
	制御保証範囲	定格電力量の10～100%
	外部制御	Analog/Digital, RS-232Cまたは485, EtherCAT
並列運転		*大12台
冷却方式		強制空冷
外形寸法　W×D×H		483×650×177mm (不包括突出部分）
質量		45kg
適合規格		CE/ SEMI F47/ RoHS指令

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ULVAC DC电源 DC-30-44H-E 是30kW高阻抗规格溅射用DC电源。