ULVAC DC电源 DC-20-AM
特点 轻量・省空间 轻量・省空间的设计,安装简易 输出电压范围可选 除800V规格外,还提供1000V规格。 丰富的电弧处理 丰富的电弧控制系统。 不需要冷却水 强制空冷系统,不需要冷却水。 可以安装高速电弧中断回路 实现标准的低电弧能量。 此外,可以安装可选的高速电弧中断电路。 自由的并联操作功能 DC-10,DC-20:可选的并联运行功能允许自由组合10kW和20kW,并联运行多达12个单元。 (*高240千瓦) 用途 FPD用溅射设备 半导体用溅射设备 触摸屏用溅射设备用 工业涂层用溅射设备 规格
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