无需像涡旋泵那样更换芯片密封件、降低性能和磨损颗粒! 可排出水蒸气和溶剂等冷凝气体! 不会像旋转泵那样产生油烟和污染真空室! 由于使用了变频器,因此在电源频率为 50/60 Hz 时也能实现相同的性能! 干式系统配有一对多级罗茨转子,可在泵腔内无接触、无油抽气,实现 “清洁排气”。 重量轻、结构紧凑,易于取代涡旋泵和旋转泵! 低噪音、低振动,是研究设施的理想选择!
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