单组分密度计的特点 130 型是注重测量浓度稳定性的概念机型 适用于对密度计方面的高精度和高稳定性要求较高的场合，如半导体制造工艺。 应用 CMP 工艺中的 CMP 浆料或氧化剂浓度控制等。 稀释过程中各种化学品（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等）的浓度控制 清洗过程中的清洗液浓度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA 等） 蚀刻过程中的蚀刻液浓度控制等（HF、H2SO4 等）
形式
FUD-1 Model-130
测量参数
超音波伝播速度・温度
表示
LCD（浓度、温度、声速/各种参数）
出力信号
模拟 4-20 mA DC（可任意设置浓度值）
数字 RS232C（浓度、温度、声速、错误代码）
报警 上下限 测量误差
電源
AC100V～240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
構造
面板安装型（DIN規格準拠）
機能
输出范围设定功能、警报输出设定功能、浓度显示移动平均值功能、浓度显示偏移和增益设定功能、自诊断功能、故障**功能、异常值取消功能
选项
温度出力 （DC4～20ｍA)
通道
*大10Ch
电缆
6ｍ
接液部材質
PFA 涂层
継手
呼び径1/2～1インチに各種対応可
測定環境
変換器
10～40℃ RH85％以下
発信器
5～45℃
測定液温度
0～50℃
耐圧
0.3MPa
流量
5l/min以下
上海岩濑国际贸易有限公司 Tel：021-63333-365 Fax：021-63333-367 Add：上海市松江区沪亭北路199弄九亭中心5号楼811室 Email：sh@iwase365.com