多组分密度计的特点 可提供实时双组分密度计和三组分密度计 标配模拟 4-20 mA DC（2 个系统）和数字 RS232C。 标配测量误差输出和报警输出。 标配自诊断功能和错误信息显示。 小巧轻便的单元式变送器可直接安装在生产线上。 PFA 润湿部件材料，低输出设计，不受化学品影响。 应用。 CMP 工艺中的 CMP 浆料和氧化剂浓度控制等。 清洗过程中的清洗液浓度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6 等） 蚀刻工艺中的蚀刻液浓度控制（TMAH + 抗蚀剂、TMAH + Si 等）
型式
FUD-1 Model-53
変換器
测量参数
超音波伝播速度・温度・導電率
表示
LCD（濃度1・濃度2・温度・音速・導電率/各種パラメータ）
出力信号
模拟 4-20 mA DC：2 个系统（可自由设置浓度值）
数字 RS232C（浓度 1、浓度 2、声速、温度、电导率、错误代码）
报警 上下限 测量误差：2 个系统
電源
AC100V～240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
構造
面板安装型（DIN規格準拠）
環境温度 変換器
0～50℃
RH85%以下（結露ないこと）
機能
输出范围设置功能、警报输出设置功能、浓度显示移动平均值功能、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值取消功能、温度时间常数补偿
选件
温度出力（DC4～20ｍA) RS485出力（RS232Cとの同時出力不可）
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