单组分密度计的特点 可进行实时浓度测量，易于构建浓度控制系统。 标配模拟 4-20 mA DC 和数字 RS232C。 标配测量误差输出和报警输出。 标配自诊断功能和错误信息显示。 单元式变送器结构紧凑、重量轻，可直接安装在生产线上。 PFA 润湿部件材料，低输出设计，不受化学品影响。 应用 CMP 工艺中的 CMP 浆料或氧化剂浓度控制等。 稀释过程中各种化学品（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等）的浓度控制 清洗过程中的清洗液浓度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA 等） 蚀刻过程中的蚀刻液浓度控制等（HF、H2SO4 等）
形式
FUD-1 Model-13
测量参数
超音波伝播速度・温度
表示
LCD（浓度、温度、声速/各种参数）
出力信号
模拟 4-20 mA DC（可自由设置浓度值）
数字 RS232C（浓度、温度、声速、错误代码）
报警 上下限 测量误差
電源
AC100V～240V 50/60Hz (DC24Vも使用可能)
構造
面板安装型（符合 DIN 标准）、面板安装型（可选配防雨外壳）
環境温度
0～50℃ RH85%以下（結露ないこと） 0～100℃ 特別仕様 -10～160℃（100℃幅）
機能
输出范围设置、报警输出设置、浓度显示移动平均值、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值消除功能 RS485出力（RS232Cとの同時出力不可）
选项
温度出力（DC4～20mA）
通道
*大10ch
適合発信器
Model-13：SA-20S26／SA-20S27／SA-20M5
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