旋转式干燥机

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产品名称: 旋转式干燥机
产品型号: OKV系列
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: OKK大宫工业
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旋转式干燥机  的详细介绍

OKK大宫工业 旋转式干燥机 OKV系列


機  種
6inch型
8inch型
适用晶片尺寸 2~6inch 2~8inch
装置寸法 W423×D839×H780 (mm) W513×D903×H880 (mm)
本体外装 正面・側面:SUS304 背面:PVC
转子材料 SUS304 电抛光
电离器 標準装備
空气过滤器 ULPA / HEPA 可选
转速 Max回転数:3,000min-¹ Max回転数:2,500min-¹
定时器 1速~8速 (0~999sec. 可设置 8 个步骤)
**装置  带有前盖关闭传感器 转子旋转时带有门锁装置


電源 三相 AC200V±10% 50/60Hz(接线端子)
驱动空气 清洁干燥空气
圧力:0.5MPa以上
空気消費量:250L/min(ANR)
排気口 VP50A 1箇所(从腔室排出)
(排気量 800L/min∼1000L/min)
排水口 VP25A 1箇所(从腔室排出)




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