特征: 1.干净 由于卤素灯的放射加热方式,接液部温度低,将玻璃成分的溶出控制在*小限度,也不用担心因热西破损引起的药水污染 2.** 与专用控制器相结合,具有各种**功能 3.小型 小型设计,容易嵌入湿站等装置内 4.高加热效率 加热效率90%以上,能源损失少的节能运转 5.加热器更换容易 加热器(卤素灯)的更换,在不拆系统的管路情况下容易从一个方向进行 6.良好的控制和操作性 通过PID控制高精度的温度控制,各种操作和警报显示集中在控制器的前面板上,通过外部通信功能的标准配备,可以根据系统结构选择使用。 用途: 1.LSI制造工艺中高温处理液的加热控制 扩散前清洗液(氨水、盐酸) 氮化膜**液(磷酸) 抗蚀剂(硫酸) 2.其他领域中各种药水的加热控制 镀金等镀液、预处理液、清洗液等
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