特征：
1.加热部的传热接液部件使用高纯度玻璃状碳素，不用担心被溶出的金属离子污染，无需表面保护膜，不会因剥离而降低能力。
外，由于独有的结构，不使用橡胶O型圈等，因此适用药水、碱性液体及有机溶剂。
2.装置内置有检测药液泄漏的漏液传感器和检测异常温度的温度开关，可以放心使用。
用途：
1.半导体制造湿法工艺中使用的药水温度管理
聚合物清楚液
RCA清洗液
蚀刻液
光刻工程显影液
2.镀层液和各种表面处理液
【适用液体】
酸性液体（氢氟酸、硝酸等）
碱性液体（NaOH 、KOH等）
有机药水
（注1） 有机药水请在订购前咨询
（注2） 含有臭氧的药水不能使用
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