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高真空排气系统

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产品名称: 高真空排气系统
产品型号: TPS-220ZC
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: PHIL佐藤
产品文档: 无相关文档

高真空排气系统  的详细介绍

PHIL佐藤 高真空排气系统 TPS-220ZC

特点
适用于高真空条件下的各种实验、开发和生产过程。
风冷系统无需水管，减轻了维护负担。
100 V 电源，可在任何地点使用。
铝制主框架和底座，重量轻。
设计紧凑，使用方便。
涡轮分子泵排气系统 <TPS> 类型
通过将辅助泵与隔膜式干式真空泵或涡旋式干式真空泵相结合，可实现全干式抽气系统。
启动和关闭时间短。
涡轮分子泵的结构具有很强的抗意外引入大气的能力。
(注：反复有意引入大气可能会导致故障。
机油扩散泵排气系统 <DPS> 型
可以较低成本获得高真空气氛。
通过三通阀切换功能，只需一台辅助泵即可独立运行。
易于维护和检查。
<TPS>类型

型　　式 TPS-50ZA TPS-50ZB TPS-50ZC TPS-220ZA TPA-220ZB TPS-220ZC
ターボ分子ポンプ 50L/s 220L/s
補助ポンプ DW-60 USW-50N MZ-2CNT DW-120 USW-100N ISP-250C
到達圧力 ×10-5Pa*1 ×10-3Pa*1 ×10-5Pa*1 ×10-4Pa*1
起動/停止時間 3/3min*2 2.2/3.5min*2
吸気口径 VG-65 VG-100
所要電力（AC） 100V 15A
質量 約51kg 約55kg 約45kg 約56kg 約59kg 約70kg
外形寸法
(W×D×Hmm) 		600×400×700 600×400×750 600×400×700 600×400×730 600×400×800 600×400×850

<DPS类型

型　　式 DPS-2-ZA DPS-2-ZB DPS-3-ZA DPS-3-ZB DPS-4-ZA DPS-4-ZB
油拡散ポンプ 58L/s 150L/s 215L/s
補助ポンプ DW-60 USW-50N DW-120 USW-100N DW-120 USW-150N
到達圧力 ×10-4Pa*3
起動時間 17min*2 22min*2
吸気口径 VF-50 VF-80 VF-100
所要電力（AC） 100V 15A 100V 15A×2*4
質量 約57kg 約60kg 約68kg 約70kg 約70kg 約80kg
外形寸法
(W×D×Hmm) 		600×400×935 600×400×995 600×400×1095 600×400×1030 600×400×1130
＊ 1: 涡轮分子泵烘烤和脱气后泵头上的数值。
启动时间是在进气口关闭的情况下测量的。 时间取决于腔室容量。
3 进气口关闭时的数值。
辅助泵和主泵配有独立的电源插头。
还可提供定制版本，其中包含各种可选组件，以满足客户的可用性和规格要求。
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