PHIL佐藤 高真空排气系统 TPS-50ZA
特点 适用于高真空条件下的各种实验、开发和生产过程。 风冷系统无需水管，减轻了维护负担。 100 V 电源，可在任何地点使用。 铝制主框架和底座，重量轻。 设计紧凑，使用方便。 涡轮分子泵排气系统 <TPS> 类型 通过将辅助泵与隔膜式干式真空泵或涡旋式干式真空泵相结合，可实现全干式抽气系统。 启动和关闭时间短。 涡轮分子泵的结构具有很强的抗意外引入大气的能力。 (注：反复有意引入大气可能会导致故障。 机油扩散泵排气系统 <DPS> 型 可以较低成本获得高真空气氛。 通过三通阀切换功能，只需一台辅助泵即可独立运行。 易于维护和检查。 <TPS>类型 型 式 TPS-50ZA TPS-50ZB TPS-50ZC TPS-220ZA TPA-220ZB TPS-220ZC ターボ分子ポンプ 50L/s 220L/s 補助ポンプ DW-60 USW-50N MZ-2CNT DW-120 USW-100N ISP-250C 到達圧力 ×10-5Pa*1 ×10-3Pa*1 ×10-5Pa*1 ×10-4Pa*1 起動/停止時間 3/3min*2 2.2/3.5min*2 吸気口径 VG-65 VG-100 所要電力（AC） 100V 15A 質量 約51kg 約55kg 約45kg 約56kg 約59kg 約70kg 外形寸法 (W×D×Hmm) 600×400×700 600×400×750 600×400×700 600×400×730 600×400×800 600×400×850 <DPS类型 型 式 DPS-2-ZA DPS-2-ZB DPS-3-ZA DPS-3-ZB DPS-4-ZA DPS-4-ZB 油拡散ポンプ 58L/s 150L/s 215L/s 補助ポンプ DW-60 USW-50N DW-120 USW-100N DW-120 USW-150N 到達圧力 ×10-4Pa*3 起動時間 17min*2 22min*2 吸気口径 VF-50 VF-80 VF-100 所要電力（AC） 100V 15A 100V 15A×2*4 質量 約57kg 約60kg 約68kg 約70kg 約70kg 約80kg 外形寸法 (W×D×Hmm) 600×400×935 600×400×995 600×400×1095 600×400×1030 600×400×1130 ＊ 1: 涡轮分子泵烘烤和脱气后泵头上的数值。 启动时间是在进气口关闭的情况下测量的。 时间取决于腔室容量。 3 进气口关闭时的数值。 辅助泵和主泵配有独立的电源插头。 还可提供定制版本，其中包含各种可选组件，以满足客户的可用性和规格要求。
<DPS类型
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