红外线灯退火设备

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产品名称: 红外线灯退火设备

产品型号: RTA-6000

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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红外线灯退火设备 的详细介绍

ULVAC 红外线灯退火设备 RTA-6000

特点
可以进行高速热处理
Cold Wall结构不会造成重金属污染
可对应C to C机器人搬送系统
可以与制造工艺设备组合和连接
用途
LED基板退火
活性化退火
SiC晶圆的退火
动力装置的退火
硅化物形成
可对应氧化环境
规格

（从左侧）RTA-4000 CtoC/RTA-2000/RTA-6000

型号	样品尺寸	温度范围	*大加热速率	大气
RTA-2000	Φ2-inch × 1 piece	RT ～ 1000℃	100℃ /s	空气中、真空中静态气体气体流量
RTA-4000	Φ3 ～ 4-inch × 1 piece		200℃ /s
RTA-6000	Φ4 ～ 6-inch × 1 piece		200℃ /s
RTA-8000	Φ6 ～ 8-inch × 1 piece		200℃ /s
RTA-12000	Φ300mm × 1 piece		100℃ /s

※其他规格要求，如单晶片加工、闪蒸退火、C to C 型、其他加热温度、气体型、真空度等，请随时与我们联系。

RTA-2000炉腔部件

RTA-12000气室部件

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