热电评估装置

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产品名称: 热电评估装置

产品型号: ZEM-5TF

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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热电评估装置 的详细介绍

ULVAC 热电评估装置 ZEM-5TF

用途
半导体，陶瓷和金属等多种材料的热电特性评估
特点
适用于各种热电材料和薄膜等特殊规格
温度检测传感器采用C型热电偶，非常适合评估Si基热电材料（SiGe，MgSi等）（HT型）
标准配备V / I图，用于欧姆接触的自我诊断
可以测量高达1200℃（HT型）
支持高达10MΩ的高电阻（HR型）
能够测量沉积在基板上的材料（TF型）
‐温度控制可以在150℃至200℃之间（LT型）
**和标准
热电JIS R 1650-1
抵抗力JIS R 1650-2
规格

型号	ZEM-5HT	ZEM-5HR	ZEM-5LT	ZEM-5TF
特点	耐高温	耐电阻	中低温	薄膜型
温度范围	100℃～1200℃	100℃～800℃	-150℃～200℃	50℃～500℃
样品尺寸	2 至 4 毫米见方或 Φ2 至 4 毫米 x 3 至 15 毫米长			沉积基底：2 至 4 毫米宽度 x 0.4 至 1.2 毫米毫米 x 20 毫米长薄膜厚度：纳米级或更厚 *样品薄膜和基底之间需要绝缘层
热电偶	C	R	K	R
测量精度	塞贝克系数：±7 电阻率：±7%（长度小于 5 毫米的样品不符合要求。）

构成

样品测量、控制和测量组件 1 套
数据采集。1 套
大气控制器。1 套

实用工具（HT 型）

电源	主机 AC200V, 40A 1 个位置 PC AC100V, 10A 2 处
冷却水	水压 0.15 兆帕流量 5 升/分钟
大气气体	低压 He 气体 0.2 MPa（低压和静态大气）
所需空间	宽约 750 毫米 × 深约 900 毫米（安装在台面上）

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