ULVAC 成膜设备可选部件 PSE-150C
规格
PSE-150C 电压 AC １00V 单相 0.8kVA（50/60Hz）允许电压变动范围＝±10％ 负荷电流 Max. 80A 控制信号 外部自动控制输入 DC-0～10V/0～100％设定接收阻抗 1MΩ 电力控制方式 晶闸管交流相位控制系统（输出稳定精度：±10％・输出变动±2％） 定格 30分 外形尺寸 480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（不包括突起部分和配件） 质量 约24kg 选项 标准代码 PSE- 15C11111 PSE- 15C21111 PSE- 15C31111 PSE- 15C12211 PSE- 15C22211 PSE- 15C32211 输出位置切换功能 1点切换 2点切换 3点切换 1点切换 2点切换 3点切换 小电力切换功能 无 无 无 有 有 有 通过成膜控制器自动控制 无 无 无 有 有 有 通过温度指示调节器自动控制 无 无 无 无 无 无 输出遥控 选项 选项 选项 选项 选项 选项 标准代码 項目 代码 规格 1. 系列 PSE- 抵抗加热式真空蒸着设备用蒸发电源、面板安装系统、数字显示 2. 电源容量→ 输出容量可以选择。 8 输入：单相100V、输出：80A（max） 0～10V 0.8kVA（max）※注１ 5 输入：单相200V、输出：150A（max） 0～10V 1.5kVA（max） 3. 控制方式 C 自动定输出反馈控制（恒定电流/定电压/定电力 选择方式） 4. 输出位置切换功能 → 可根据蒸发源的电极构成进行选择。 1 无：１点 2 ２点切换 3 ３点切换 5. 小电力切换功能→ 可应用于有机物等小型输出调整 1 无 2 低输出（0～50A）/高输出（0～150A）变压器切换 6. 自动控制器功能 → 具有通过成膜控制器自动控制输出的功能。 1 无：手动調整 2 具有膜厚仪输出自动控制功能（固定） 3 通过膜厚仪或温度调节计，可以具有自动输出控制功能（切换） 7. 内置温度指示调节计 → 具有通过温度调节计自动进行输出控制的功能。 1 无 2 有（ＰＩＤ控制方式）※注２ 8. 输出遥控→ 监视真空槽内的同时有效地进行输出调整 2 无 2 有（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作） ※注1 可对应输出位置切换功能、膜厚仪自动功能、输出遥控（小电力功能／温度自动功能／温調計功能不能对应） ※注2 仅自动控制器功能 [３] 选择时适用
PSE-150C
※注1 可对应输出位置切换功能、膜厚仪自动功能、输出遥控（小电力功能／温度自动功能／温調計功能不能对应） ※注2 仅自动控制器功能 [３] 选择时适用
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