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溅射设备

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产品名称: 溅射设备
产品型号: VTR-151M/SRF
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

溅射设备  的详细介绍

ULVAC 溅射设备 VTR-151M/SRF

特点
绝缘，金属，半导体材料的溅射设备。
主泵使用分子泵。
可以在2inch×3阴极上*多3层，多层成膜。
通过磁控溅射，溅射速度可达到30nm/min（SiO2）。
搭载了基板加热机构（350℃）。
规格

型式 VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
真空性能 极限压力 6.6×10-４Pa
排气时间 6.6×10-３Pa/5min
真空槽 真空槽 金属腔（内径Φ310.5mm×高160mm)
阴极 2inch、3元
基板推荐尺寸 Φ2inch（Φ50.8mm） ×t1mm
有効成膜范围 25mm
成膜速度 SiO2 SiO2, 成膜30nm/min以上
膜厚分布 SiO2 SiO2, 成膜25mm范围±10％以内
基板加热温度 Max 350℃
基板／电极间距 50mm ～ 90mm （可変：半固定）
排气系统 主泵 分子泵 250L/sec
液体氮气捕集器 ー
補助泵 油回转泵 200L/min
油雾捕集器 油雾捕集器 OMT-200A
操作系统 主阀 蝶阀
補助阀 三通阀
自动泄露阀 选项
操作 手动
控制系统 RF电源 Max 300W (0～300Ｗ可変）
皮拉尼真空计 GP-1GRY
电离真空计 ISG1/SH2-1
设置 *大尺寸 1081mm（W）×853mm（D）×1104mm（H）
质量 400kg

效用

型式 VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
所要电气量 200V 单相 50/60Hz 3.5kVA
接地端子 A种 （接地抵抗値 10Ω以下）
所要水量 2.0 L／min　(水温:25℃以下、水圧:200kPa（表压）)
组合连接（电源） 橡胶绝缘软管4m 附R3.5-5压接端子
组合连接（接地） 接地电缆　4m 附R5.5-8压接端子
组合连接（水） 涤纶软管（内径9mm×外径15mm）、4m（2根）

尺寸图

zu_scott_c3.gif

真空槽内部构成

基本构成

zu_scott_fc.gif
[1] 密封法兰
[2] 电极隔板
[3] 阴极
[4] 气体导入
[5] 视窗
[6] 快门处理
[7] 快门
[8] 排气阀
[9] 真空计端口

支架图

[標準]

zu_scott_holder01.gif

[特型例]

zu_scott_holder02.gif

※我们将根据您的研发目的进行定制。


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