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小型蒸发设备

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产品名称: 小型蒸发设备
产品型号: VTR-350M/ERH
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

小型蒸发设备  的详细介绍

ULVAC 小型蒸发设备 VTR-350M/ERH

特点
玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发（*大4层）。
蒸发设备带有脚轮，移动更为容易。
带有调节器，可确保设置的**性。
规格

型式 VTR-350M/ERH
真空性能 极限压力 4.0×10-４Pa
2.0×10-４Pa（液体氮气使用时）※１
排气时间 4.0×10-３Pa/10min
3.0×10-３Pa/10min（液体氮气使用时）※１
真空槽 真空槽 玻璃钟罩（内径Φ300mm×高300mm)
馈通圈 12端口(側面8/底面4)
基板推荐尺寸・*大尺寸※２ □50mm ・ □140mm（Max）
电源系统 蒸发电极构成 1点式
蒸发电源・数量 SEREM “PSE-150C” 1式
0～10V 150A（Max)
排气系统 主泵 分子泵（345L/sec)
液体氮气捕集器 选项
補助泵 油回转泵（200L/min）
油雾捕集器 内置捕集器 OMI-200
操作系统 主阀 蝶阀
補助阀 三通阀
自动泄露阀 有
操作 手动
控制系统 皮拉尼真空计 GP-1G
电离真空计 GI-M2
设置 *大尺寸　　本体 730mm（W）×584mm（D）×1161mm（H）
电源 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
质量　　　　本体 160kｇ
电源 40kg

※1：液体气体捕集器为可选部件。
※2：*大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。

效用

型式 VTR-350M/ERH
所要时间 本体 100V 单相 50/60Hz 1.4kVA
电源 200V 单相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 D种（接地抵抗値 100Ω以下）
组合连接 本体　1Φ　100V 橡胶绝缘软性电缆（带R3.5-4 圧接端子）4m
电源　1Φ　200V 橡胶绝缘软性电缆（带R2.0-5接压端子）2m

尺寸图

VTR-350M/ERH

zu_vtr350m_erh.gif

蒸发电源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽内部构成

基本构成

fg_new_vpc_fcle.gif

※我们将根据您的研发目的进行定制。

可选配件

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