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小型蒸发设备

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产品名称: 小型蒸发设备
产品型号: VPC-260F
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

小型蒸发设备  的详细介绍

ULVAC 小型蒸发设备 VPC-260F

特点
玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发。
蒸发设备带有脚轮，移动更为容易。
规格

型式 VPC-260F
真空性能 极限压力 1.3×10-３Pa
6.6×10-４Pa（液体氮气使用时）
排气时间 4.0×10-３Pa/20min
1.3×10-３Pa/20min（液体氮气使用时）
真空槽 真空槽 玻璃钟罩（内径Φ300mm×高300mm)
馈通圈 8端口(側面8)
基板推荐尺寸・*大尺寸※1 □50mm ・ □140mm（Max）
电源系统 蒸发电极构成 1点式
蒸发电源・数量 SEREM　PSE-150C　1 式
0～10V 150A（Max)
排气系统 主泵 油扩散泵（空冷）　200L/sec
液体氮气捕集器 有
補助泵 油回转泵　100L/min
油雾捕集器 选项
操作系统 主阀 插板阀
補助阀 三通阀
自动泄露阀 选项
操作 手动
控制系统 皮拉尼真空计 选项
电离真空计 选项
设置 *大尺寸　　本体 530mm（W）×550mm（D）×1135mm（H）
电源 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
质量　　　　本体 75kｇ
电源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。

效用

型式 VPC-250F
所要时间 本体 100V 单相 50/60Hz 1.35kVA
电源 200V 单相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 Ｄ种 （接地抵抗値 100Ω以下）
组合连接 本体　1Φ　100V 橡胶绝缘软性电缆（带插头） 2m
电源　1Φ　200V 橡胶绝缘软性电缆（带R2.0-5接压端子） 2m

尺寸图

VPC-260F

zu_vpc260f.gif

蒸发电源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽内部构成

基本构成

zu_vpc_feed.gif

可选配件

zu_vpc260f_op.gif

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