ULVAC 分光椭偏仪 UNECSｰPortable
特点 高速測定： 独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。 适用于可见光谱： 波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。 紧凑型传感器单元： 光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。 丰富的产品阵容： 产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。 用途 透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量 规格 波长范围 530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（选择） 点径 Φ1mm、Φ0.3mm（选择） 入射角度 70o固定 膜厚再现性 1σ = 0.1ｎｍ 膜厚范围 1nm ～ 2μｍ 测量时间 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms 平台 固定类型（Φ150mm以下、可拆卸） 控制PC 笔记本类型（带操作/分析软件） 机器构成 测量本体（带固定台）、控制器BOX、光源单元 操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD）
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