陶瓷隔膜真空计

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产品名称: 陶瓷隔膜真空计

产品型号: CCMT-100D

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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陶瓷隔膜真空计 的详细介绍

ULVAC 陶瓷隔膜真空计 CCMT-100D

特点
长期稳定
使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性
内置式温度补偿回路
采用新结构保护传感器免受污垢
可以通过按钮进行零点调整
用途
用于成膜设备工艺中的压力监控
用于真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监控
规格

型式		CCMT-D
測定满刻度	CCMT-1000D	133kPa F.S.
	CCMT-100D	13.3kPa F.S.
	CCMT-10D	1.33kPa F.S.
	CCMT-1D	133Pa F.S.
分解能		全表壳的 0.003%
精度 *1		相对于指示值 ±0.2% ±温度系数
温度係数	0電圧	0.015% F.S. / ℃
	跨距電圧	0.01% R / ℃
使用温度範囲		10～50℃
応答速度		30ms以下
接ガス部材質		Al₂O₃、Vacon70 2、SUS316 3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田
入力電源		DC14～30V, 1W
出力		DC　0～10VF.S
質量		329g（直径12.7・標準型）
外形寸法		直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)
标准配件		标准：直径 12.7 毫米管道选配：NW16KF、Cajon 8VCR
温度補償		温度補償回路内臓
输入/输出接口		D-sub 15 针，公头

*1：开机 2 小时后，工作环境温度 25°C，进行零点调整。
*2：28% 镍、23% 钴、49% 铁
*3：18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

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