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低温泵

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产品名称: 低温泵
产品型号: CRYO-U22H
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

低温泵  的详细介绍

ULVAC CRYO-U22H 低温泵

特点
特别适用于大型成膜设备。
水的排气速度*高。
标准规格

排气速度(20℃) 氮 L/s 17,000
氢 25,000
氩 14,000
水 39,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7 (10-9)
*大流量 氩 Pa・L/s(Torr・L/s) 4.1×103 (31)
氢 1.3×103 (9.6)
排气容量 氩 Pa・L(Torr・L) 8.1×108 (6.1×106)
氢 8.5×106 (6.4×104)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 150/135 (50/60)
吸气口法兰 VG-550
压缩机组 C30VRT×2
重量 Kg 125.0

*保养周期：16,000小时
外形尺寸 (单位:mm)

u22h.gif



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