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排气单元

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产品名称: 排气单元
产品型号: VPC-051A
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

排气单元  的详细介绍

ULVAC 排气单元 VPC-051A

特点
桌面型和紧凑型可节省安装空间。
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
如果发生电源故障，通过自动泄漏阀保护主泵。
空冷型，不需要冷却水。
规格

型号 VPC-052
极限压力
7.0×10-４Pa
1.5×10-４Pa（使用液氮时）
主泵
油扩散泵（空冷）　50 L/sec
辅助泵
油回转真空泵　20 L/min
主阀门
25A蝶阀
辅助阀门
三通阀
吸气口
VG-25
重量
20kg
*大尺寸　（W×D×H）
350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾阱可选

效用

型号 VPC-051
所需电力
单相　100V　0.63kVA
接地端子
Ｄ种　（接地电阻值／100MΩ以下）
安装
乙烯基电缆（带插头）　2m

油扩撒泵

ph_dpf050.jpg

型　　　式 DPF-050
极限压力 10-5Pa
*大排气速度 50L/sec
临界背压 13Pa
所要電力 单相 100V 0.25kW
使用油 SY 20cc
质量 1.8kg
吸气法兰 VG-25
排气管 Φ14mm
冷却方式
空冷

尺寸图

zu_vpc051a.gif


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