ULVAC 油扩散泵 PBL-14
・10-1 Pa排气速度*大。 ・PBL-02~PBL-04型使用不锈钢作为主体(气缸)。 因此。出气少,容易获得高真空,并且耐腐蚀性优异。 ・与水平喷射泵相比,操作范围向低压侧移动约一位数,但同口径的泵排气速度要大得多, 并且排气速度特性也很好。 可在油回转真空泵,机械增压泵和油扩散泵的中间压力下使用,并且安装面积小。 ・大型泵PBL-06~PBL-20管式加热器直接包含在液压流体中,因此热效率特别高。 规格
*1 当冷却水量为20℃时,极限压力基于电离真空计。 *2 这里是根据扩散泵*大流量来选择辅助泵的。通常情况下,考虑到粗抽时间, 使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的
排气速度曲线
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