ULVAC 油扩散泵 ULK-10A
特点 没有机械式的滑动部分,坚固型高真空泵。 有2种油和加热器可供选择,能够满足所需要的排气速度、到达压力。 配有防止向辅助泵侧返油的机构。 用途 ・蒸发设备 ・高真空实验设备 规格
*1 当冷却水量为20℃时,极限压力基于电离真空计。 *2 D-11是烃类通用油,D-31是具有高热稳定性的硅基扩散泵油。 *3 这里是根据扩散泵*大流量来选择辅助泵的。 通常情况下,考虑到粗抽时间,使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。 *4 关于其他尺寸,请确认本公司网站上的CAD数据(二维图纸、三维图纸)。
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