溅射离子泵

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产品名称: 溅射离子泵

产品型号: PST-030AU

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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溅射离子泵 的详细介绍

ULVAC 溅射离子泵 PST-030AU

特点
应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10-9 Pa测试。
稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。（与本公司相比）
在超高真空范围内实现高抽速。
在短时间内可以达到超高真空。
在超高真空范围内具有出色的启动特性。（超高真空范围内持续放电）
用途
加速器
电子显微镜
电子束曝光装置
讨厌振动的分析装置
极・超高真空环境下的使用等
规格

型号		PST-030CU	PST-030AU	PST-050CU	PST-050AU	PST-100CX	PST-100AX
主要对象气体		活性气体	希有气体	活性气体	希有气体	活性气体	希有气体
排气速度* (再生排气速度)		0.03m³/s(N₂测定时)	0.013m³/s(Ar 测定时)	0.045m³/s(N₂测定时)	0.016m³/s(Ar 测定时)	0.10m³/s(N₂ 测定时)	0.05m³/s (Ar 测定时)
到达压力		10^-9Pa
动作压力	推荐值	<8.0×10^-3Pa				<5.0 x 10^-3Pa
内容积		0.67 X 10^-3m³		1.3x10^-3m³		3.3x10^-3m³
泵元件数量		CU型单元×1 式	AU sell×1式	CU sell×1	AU sell×1	CX sell×1	AX sell×1
连接法兰规格		UFC070		UFC114		UFC152
施加电压		DC+7.5kV
加热器		无设定		AC200V, 300W		AC200V, 320W
烘烤温度		250℃
质量		9.5 kg		12kg		37kg
外形尺寸	W x H x D	103×183×187 mm		153×204×241mm		155×336×340mm
使用环境	温度范围	5~40℃
	湿度范围	85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸		4处-M5 深10mm				4处-M8 深6mm
推荐的控制器		GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用时

型号		PST-110AU	PST-200CXII	PST-200AXII	PST-400CXII	PST-400AXII
主要对象气体		活性气体	活性气体	希有气体	活性气体	希有气体
排气速度* (再生排气速度)		0.11m³/s(N₂ 测定时)	0.2m³/s(N₂ 测定时)	0.02m³/s (Ar 测定时)	0.36m³/s(N₂ 测定时)	0.19m³/s (Ar 测定时)
到达压力		10-9Pa	10^-10Pa
动作压力	推荐值	<4.5x10^-3Pa	<3.8x10^-3Pa		<3.0x10^-3Pa
内容积		6.5x10^-3m³	11x10^-3m³		14x10^-3m³
泵元件数量		AU sellx1	CX sell×2	AX sell×2	CX sell×4	AX sell×4
连接法兰规格		UFC152	UFC203
施加电压		DC+7.5kV
加热器		无设定	AC200V, 600W		AC200V, 800W
烘烤温度		250℃
质量		36.5kg	65kg		124kg
外形尺寸	W x H x D	171×387×293mm	296×361×376mm		296×544×376mm
使用环境	温度范围	5~40℃
	湿度范围	85%以下(无结露)
固定泵的螺栓孔尺寸		4处-M6 深5mm	4处-M8 深15mm		6处-M8 深度15mm
推荐的控制器		GST-07L-B

*1 GST-07L-B型控制器使用时

PST系列控制器

型号			GST-07L-B
输入规格	输入电压、电流		AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A
			AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A
	泄露电流		6mA以下
	输入电压切换方式		手动(通过电源内部DIP开关操作)
输出规格	额定电压		DC +7.5kV(约1.0~7.5kV大小可变)
	额定电流		DC30mA以下
	输出极性		正极性
	输出特性		恒压特性
显示方式			数字显示(7段 LED显示）
表示范围	输出电流显示范围		1μA~30mA(mA, μA两种单位自动切换)
	输出电压显示范围		0.0～7.5 kV DC
	压力显示	Pa	1×10^-8～1×10^-2
		mbar	1×10^-10～1×10^-4
压力设定点			2点
保护功能			错误显示/配备各种保护功能
			显示亮灯，高电压 (HV) 输出断开 (Err. 0-8)
停电后的恢复			在HV-ON开关处于ON状态时，停电后可自动恢复。
外部控制功能			各种输入功能 (付REMOTE接头), 搭载RS232C通讯控制
Monitor端子输出信号			根据面板7位显示比例的输出, 各段DC0～10V F.S
			允许负载阻抗100kΩ以上
REMOTE/LOCAL			通过前面板的开关进行切换
冷却方式			强制空冷方式
质量			本体 : 4.0kg
外形尺寸	W×H×D		200 x 99 x 370 mm (架子安装五金件除外)
使用环境	温度范围		0 ～ 40℃
	湿度范围		85%以下(无结露)
符合规格			CE, cTUVus

排气速度曲线

PST-030CU_AU	PST-050CU_AU
PST-100CX_AX	PST-110AU
PST-200CXII_AXII	PST-400CXII_AXII

尺寸图

PST-030CU_AU	PST-050CU_AU
PST-100CX_AX	PST-110AU
PST-200CXII_AXII	PST-400CXII_AXII

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溅射离子泵

ULVAC 溅射离子泵 PST-030AU 溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵，广泛应用于分析仪和加速器中。 ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件和优化磁场的技术，开发出了泵。

PST系列控制器

排气速度曲线

尺寸图

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