ULVAC 涡轮分子泵 YTPー300MB-DRY
特点 辅助泵可以选择:辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外,还可以选择搭 载干泵的规格。 优良的停电对策:前级阀门为标配的电磁阀,防止停电时候逆流发生故障。 可确认粗抽状况:标配有皮拉尼真空计,可在粗抽排气过程中确认压力 可排气至UHV区 安装选购配件的烘烤加热器并进行脱气处理,可以排气至UHV区。 (*产品规格值) 用途 从大气压到高真空的排气系统 各种实验、研究装置的排气系统 高纯气体的真空置换 超高真空装置的粗抽排气系统 分析装置的排气系统
*1:烘烤仅可在ICF法兰规格下进行。 *2:排气速度为无防护网时的值。 *3:无保护网下的值。
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