涡旋式干泵

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产品名称: 涡旋式干泵

产品型号: DIS-90

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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涡旋式干泵 的详细介绍

ULVAC 涡旋式干泵 DIS-90

特点
结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的*高压力水平。
内置自动复位型热保护器等**设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。
用途
分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺
规格

※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

型号	认证标准^※	ＣＥ自我宣/言	1Φ、100V系	1Φ、200V系	3Φ、200V系	3Φ、400V系
DIS-90	cTUV	●	● （可以通过更换端子板切换）		－	－

●：标准、○：可选对应、－：对应不可
※ｃＴＵＶｕｓ认证：本产品是通过国际第三方产品**测试和认证，符合美国标准的高质量产品。

１	粉末和生成物吸入会导致泵损坏。请使用吸气阱。
２	吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。

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