ULVAC 隔膜型干泵 DAU-20
特点 气体接触区域不使用油的干式真空泵。 极限压力性能增强的高真空型干式真空泵 ターボ分子ポンプの辅助泵に使用可能。 内置自动复位型热保护器等**设计。 大气压下可运作。 结构简单,维护方便。 规格
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