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晶圆搬运机器人

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产品名称: 晶圆搬运机器人
产品型号: SR8241
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: NIDEC
产品文档: 无相关文档

晶圆搬运机器人  的详细介绍

NIDEC尼得科 晶圆搬运机器人 SR8241

特点：
 
・大搬送范围的设计・独立的双驱动系统实现2片同时取放・紧凑的构造、很小的占有面积・应对10mm的片间距・和晶圆合同片间距的2片同取放・低取片高度・具有多功能和可回旋的手臂・3段链接ARM无行走轨道的设计、应对*大5台晶圆合平行排列

自由度 5-AXIS
可动范围「翻转轴」(deg) +/-275
可动范围「X轴」(㎜) -750～+750
可动范围「Z轴」(㎜) 470
可动范围「θ轴」(deg) +/-170
*大速度「翻转轴」(rag/sec) 9.42
*大速度「X轴」(rag/sec) 2.44(1952㎜/sec)
*大速度「Z轴」(㎜/sec) 720
*大速度「θ轴」(rag/sec) 6.54
*大速度「翻转轴」(rag/sec) 9.42
*大速度「*大可搬重量」(kg) 2
*大速度「重复精度」(㎜) +/-0.05
*大速度「本体重量」(kg) 70
*大速度「控制器」 SC5000
产品搬运公司 日本电产三協




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