首页 >>> 产品目录 >>> FA自动化控制·机械部品 >>> 搬运、运输机器

晶圆搬运机器人

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 晶圆搬运机器人
产品型号: SR8240
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: NIDEC
产品文档: 无相关文档

晶圆搬运机器人  的详细介绍

NIDEC尼得科 晶圆搬运机器人 SR8240

特点：
 
・300mm 应对2～3端口・紧凑的构造、很小的占有面积・具有多功能和可回旋的手臂・独立的双驱动系统实现2片同时取放・和晶圆合同片间距的2片同取放

自由度 5-AXIS
可动范围「翻转轴」(deg) -270～+450
可动范围「X轴」(㎜) -432～+432
可动范围「Z轴」(㎜) 300
可动范围「θ轴」(deg) +/-180
*大速度「翻转轴」(rad/sec) 9.42
*大速度「X轴」(㎜/s) 1680
*大速度「Z轴」(㎜/s) 500
*大速度「θ轴」(㎜/s) 8.72
*大速度「重复精度」(㎜) +/-0.1
*大速度「本体重量」(kg) 60
*大速度「控制器」 SC5000
产品搬运公司 日本电产三協

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!