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晶圆搬运机器人

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产品名称: 晶圆搬运机器人
产品型号: SR8230
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: NIDEC
产品文档: 无相关文档

晶圆搬运机器人  的详细介绍

NIDEC尼得科 晶圆搬运机器人 SR8230

特点： 
占有空间小，运行速度快，搬送效率高。

手臂 双手臂单刀片型
自由度(附带**编码器) 5-AXES
可动范围「R轴」(㎜) (第1,2轴手臂)534
可动范围「Ｚ軸」(㎜) 300/600
可动范围「θ軸」(deg) 340
*大速度「R轴」(rad/sec) (第1,2轴手臂)5.76
*大速度「Ｚ軸」(㎜/sec) 450
*大速度「θ軸」(rad/sec) 6.98
往复精度(㎜) +/-0.1
洁净度 ISO Class 2
产品搬运公司 NIDEC　INSTRUMENTS

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