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晶圆搬运机器人

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产品名称: 晶圆搬运机器人
产品型号: SR8220
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: NIDEC
产品文档: 无相关文档

晶圆搬运机器人  的详细介绍

NIDEC尼得科 晶圆搬运机器人 SR8220

特点：

・采用2ARM构造增大了搬运范围


・实现了晶圆的高速传输和双片同取放

・确保了超高的直线精度

・ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求

・可同时适用于2～8英寸包括12英寸的晶圆的搬送

自由度 4-AXES
可动范围「R1/R2轴」(㎜) Short：-265 ～+245/Standard：-212～+321/Long:-319 ～+447
可动范围「Z轴」(㎜) 300/400/450/600
可动范围「θ轴」(deg) 340
*大速度「R1/R2轴」(rad/sec) 5.76
*大速度「Z轴」(㎜/sec) 450
*大速度「θ轴」(rad/sec) 6.97
*大速度「*大可搬重量」(kg) 2
*大速度「重复精度」(㎜) +/-0.1
*大速度「本体重量」(kg) 60/70/85
*大速度「控制器」 SC5000
产品搬运公司 NIDEC　INSTRUMENTS





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