HONDA本多_石英振动体型清洗机_W-357-1MQB-SKC
长处 清洁具有小型化图案的晶圆，损坏低 ■超声波叠加在石英振动体上，清洁半导体晶片。 通过将化学溶液浸入半导体晶片中并通过石英玻璃传播超声波振动，接触部分的化学溶液振动，加速度去除表面的污垢。 ■实现清洁清洁，对半导体晶圆的损坏很小。 通过使用石英与化学品接触，与使用橡胶材料（如填料）的设备相比，无需橡胶洗脱或磨损即可实现清洁清洁。 ■由于具有谐振器冷却功能，*大输出功率比标准产品提高了2.4倍。 通过用气体（氮气等）冷却传感器，可以实现稳定的连续运行，而不会出现频率波动。 此外，冷却可确保较长的使用寿命，而不会突然的温度变化。 用 抗残留物去除 磨边、灰化后的聚合物去除 栅极清洁 CMP 后的清洁
发生器
型式
W-357-1MQB-SKC
発振方式
周波数設定式他励発振
定格出力
12W
公称発振周波数
1MHz
電源入力
AC100V～240V 単相 50/60Hz 300VA
外形寸法
180（W）×250（D）×100（H）mm （突起部は除く、ゴム足を含む）
質 量
2.2kg
●输出可变范围：0W~12W（振动体允许输入：使用空气吹扫振荡器冷却时连续10W） ● 环境：温度：15~35°C，湿度：10~85% ●外部驱动触点额定值：超声波振荡控制（控制侧）触点输入：DC12V 16mA以上 报警输出（仪表）触点容量：DC24V 0.5A ■附带电缆：电源线（100V2m/200V3m），控制线（5m）x 4 喷头
流量 指定なし 全長 159mm チャック部寸法 φ24mm 照射面積 24cm2 質量 600g
流量
指定なし
全長
159mm
チャック部寸法
φ24mm
照射面積
24cm2
質量
600g
●工作液体温度范围：20~50°C - 谐振器：PZT - 材料： 振动体： 石英玻璃， 包装： 硅橡胶， 表壳： PCTFE --线长：输出码1.5米+继电器码3.5米 - 空气吹扫接头：兼容管（外径φ6）
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