sakaguchi坂口电热_激光平面瞬间加热装置_EXL-CT-010-DS55
特点：
可实现超快的温度上升和下降。
一次均匀加热 2 英寸基板
只有被加热的物体才能直接加热。
可根据工艺进行温度控制
在不加热大气的情况下节能
标准规格：
型号 EXL-CT-010-DS55
激光照射方式
直接型
机身尺寸
高 625mm ×宽 700mm ×深 320mm
激光功率
高达 1kW
附属品
专用冷水机组
激光波长
808纳米
额定
主机：1P200V20A 冷水机：1P200V15A
激光几何形状
广场
光学（均匀性）
均质机 （±5%）
言论
JST原创建模 开发产品（FY17）
加热区
□ 55mm
工作距离
400毫米~
* 以上为标准规格。 可根据客户要求进行更改。
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